ウェハーレベルUBMめっき装置

PacTechの全自動無電解めっきライン
“PacLine™ シリーズ200/300”ではφ100-300mmウェハーに対しNi、Pd、Auのめっき処理が可能です。

 

PacLine 300 A50

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PacLine 200 M25

PacTech / PacLine 200

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