ホットプレート式ウェハーリフロー装置

ホットプレート式ウェハーリフロー装置

窒素消費量を抑えた低コストタイプのウェハーレベルリフロー装置

RFA 200/300は、6/8/12インチのサイズに対応した自動ウェハーリフロー装置です。 一方、RFM 200/300は、4 “ から 12”のウェハーサイズに対応した半自動装置のためウェハーのハンドリングはマニュアルで行う必要がございます。