ホットプレート式ウェハーリフロー装置
窒素消費量を抑えた低コストタイプのウェハーレベルリフロー装置
RFA 200/300は、6/8/12インチのサイズに対応した自動ウェハーリフロー装置です。 一方、RFM 200/300は、4 “ から 12”のウェハーサイズに対応した半自動装置のためウェハーのハンドリングはマニュアルで行う必要がございます。
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RFA 200/300は、6/8/12インチのサイズに対応した自動ウェハーリフロー装置です。 一方、RFM 200/300は、4 “ から 12”のウェハーサイズに対応した半自動装置のためウェハーのハンドリングはマニュアルで行う必要がございます。