ホットプレート式ウェハーリフロー装置

窒素消費量を抑えた低コストタイプのウェハーレベルリフロー装置

RFA 200/300は、6/8/12インチのサイズに対応した自動ウェハーリフロー装置です。 一方、RFM 200/300は、4 “ から 12”のウェハーサイズに対応した半自動装置のためウェハーのハンドリングはマニュアルで行う必要がございます。

RFA 200/300

PacTech / RFA 300 / web

 

Automatic Handling

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RFM 200/300

PacTech / RFM / web

 

Manual Handling

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