RFA 200/300

ウェハー向け全自動リフローオーブン

RFA300は6″, 8″, 12″ウェハーに対応した全自動リフローオーブンです。

RFA 200/300 (ダウンロード / 製品カタログ)

Highlights
  • Automatic system with wafer loading/unloading from cassette to cassette via robot handling
  • Volume production & prototyping capability 
  • Throughput: approx. 20 Wafers/hour (depends on selected profile)
  • Free adjustable time for pre delay for heating and cooling 
  • Temperature programmable up to 350°C
   
   
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Technical Specifications