MegaPac 200/300

PacTechは、標準的な構成のバンピングラインだけでなくカスタマイズ可能なウェットベンチを提供しています。
当社のバンピングラインは、投入/搬出ステーション、クイックダンプリンス用タンク、乾燥用ステーション、および自動Niストリップで構成されています。

PacTechは、装置だけでなく処理液/エンジニアトレーニングを含めたターンキーソリューションをご提供します。
↑これ、PacLine 300 A50のコピペ？
MegaPac関係なくね？

MegaPac 200/300 (Product Brochure Download /.pdf 1MB)

Highlights
  • Maximum Flexibility: 4“-12“
  • UPH: up to 600,000 wafer per year 8“
  • No tooling
  • In-line Bath Control and Replenishment
  • Total Quality Software for recipe management, process control, data logging
  • SECS GEM Interface optional
  • Turnkey Process Solution
   
   

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Options
Benefits
Technical Specifications