PlasPac 200

ウェハー洗浄/レジストアッシング向けプラズマ(RIE)装置

PlasPac 200 RIE装置は、ドライエッチング, アッシングおよびプラズマ洗浄用途に使用可能なバッチ処理型の装置です。 高い処理能力, 均一性, 品質および信頼性をご提供します。

PlasPac 200 (ダウンロード / 製品カタログ)

Highlights
   
   

Applications
Options
Benefits
Technical Specifications